精密位移平臺的結(jié)構(gòu)
轉(zhuǎn)動平通過四個對稱設(shè)置的平行柔性鉸鏈與基座7相連。當(dāng)兩個驅(qū)動器的進(jìn)給位移相等時(shí),轉(zhuǎn)動平臺將繞平臺的中心轉(zhuǎn)動
精密位移平臺數(shù)學(xué)建模
工作行程、分辨率、精度、固有頻率是精密定位平臺的主要性能指標(biāo)[8]。在以柔性鉸鏈為傳動機(jī)構(gòu)的微動平臺的設(shè)計(jì)中,柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)尤為重要。因此,本設(shè)計(jì)對精密定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行了剛度、固有頻率和強(qiáng)度分析,在此基礎(chǔ)上對機(jī)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì),所選的材料是彈性較好的65Mn。其相關(guān)參數(shù)如下:屈服強(qiáng)度:σs=785MPa;彈性模量:E=210GPa;密度: ρ=7.9×103kg/m3 ;泊松比:μ=0.3
精密位移平臺的剛度分析
本設(shè)計(jì)中,采用了Btrain D. Jensen, Larry L. Howell提出的Small-length flexural pivot 型柔性鉸。平臺可簡化為一個剛體通過4個對稱柔性鉸鏈與支架相連的模型。
精密位移平臺的強(qiáng)度分析
在微動平臺的設(shè)計(jì)中,不但要保證平臺的剛度和固有頻率條件,也要保證平臺的強(qiáng)度。一般允許應(yīng)力為材料屈服強(qiáng)度的10%左右。
精密位移平臺的優(yōu)化設(shè)計(jì)
為了獲得較大的行程,所以應(yīng)當(dāng)在保證平臺的固有頻率和強(qiáng)度的條件下,盡可能降低平臺的剛度。以a和t為優(yōu)化變量
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